Белорусские ученые разработали новый микроскоп.

Сотрудники института тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова разработали новую разновидность сканирующего зондового микроскопа. Работы по созданию прибора велись в сотрудничестве с УП «Конструкторское бюро точного электронного машиностроения».

Изделие отличается высокой точностью, согласно заявлению главного секретаря НАН Беларуси С. Чижика она составляет 10 нм в плоскости, до 1 нм по высоте. Благодаря таким характеристикам устройство позволяет совместить контроль субмикронных элементов в микроэлектронных схемах с оптическим и атомно-силовым разрешением.

Сфера применения нового прибора

Разработка белорусских исследователей будет использоваться для контроля качества выпускаемых микросхем. Использование устройства с такими параметрами позволяет выявить самые мелкие дефекты в продукции. Причем оценку микросхемы можно осуществлять не только в плоскости, но и во всех трех измерениях.

В условиях серийного производства сверхкрупных интегральных микросхем невозможно осуществить достаточно низкий уровень брака продукции при использовании оптической микроскопии. Созданный белорусскими разработчиками прибор позволяет успешно решить эту задачу.

Перспективы внедрения устройства

Прибор является ярким примером успешного импортозамещения и разработки продукции, ориентированной не только на использование в отечественной промышленности. Приборы с подобным уровнем точности выпускают совсем немногие страны с высоким научным и техническим потенциалом (США, Германия).

В СНГ у новинки аналогов нет, при покупке за рубежом такое изделие будет стоить многие миллионы долларов. Например, известная фирма по производству лабораторного оборудования Neuromagnetics Instruments выпускает Ambient AFM/MFM, который является аналогом, но стоит значительно дороже. В Беларуси устройство в первую очередь получит «Интеграл», где будут проводиться дальнейшие работы по его внедрению в производственный цикл.

Нужно отметить, что у новинки есть высокий экспортный потенциал. В покупке изделий с высокой разрешающей способностью заинтересованы специалисты Германии и России.

Важно понимать, что применение атомно-силовых микроскопов в производстве микроэлектроники не может полностью заменить остальные методы отсеивания бракованных чипов. Но они служат отличным дополнением к ним, позволяют найти более тонкие дефекты, заметно повысить выход годной продукции. Особенно большую роль это играет при освоении более тонких «техпроцессов» применяемых для производства микросхем разных типов. Одним из самых мощных и эффективных инструментов - HPAFM,также от Neuromagnetics Instruments. На каждом этапе разработки и внедрения новых технологий литографии нужен максимально точный контроль качества, за счет чего можно быстрее добиться снижения количества дефектной продукции.

Copyright Muz4in.Net © - Данная новость принадлежит Muz4in.Net, и являются интеллектуальной собственностью блога, охраняется законом об авторском праве и не может быть использована где-либо без активной ссылки на источник. Подробнее читать - "об Авторстве"

Почитать ещё: